電容式位置傳感器Faraday係列由傳感器、位置監視器、數據通訊和軟件平台構成,具有亞納米級分辨率、高速采集與通訊50kSa/s、寬量程覆蓋0.2~3mm、高線性度≤±0.01%FSO、非接觸測量等特點。探頭部分提供平板、圓柱和螺柱三種探頭,有高真空、超高真空和無磁材料版本可選,支持靈活定製。
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2025-08-27
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